氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝，可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中新穎的技術裝備，設計思路新穎，操作方便，結構緊湊，一臺設備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應加熱原理，使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合真空衛生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好?！　?、控制柜安裝固定在相應的基礎上。　　3、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤?！　?、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現象?！　?、絕緣電阻不應小于2萬億歐姆。　　6、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位置?！　?、控制電源開關置于斷開位置。　　8、手動調壓旋鈕逆時針轉動頭。　　9、將報警按鈕置于打開位置?！　?0、平面圖完成設備循環冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空燒結爐熱調試方法 　　真空燒結爐以其內部優異的工件處理環境而被用作各種熱處理和加熱工藝，同時可以做到對外部環境無污染，十分適用于我國現階段的環保需求，而且通過高度的機電一體化程度，可以做到在溫度測控精度提高的基礎上，使工件移動、氣壓功率調節等通過編程進行預先設定。 　　當我們購買真空燒結爐全套設備按技術要求安裝完畢后，無缺件并有良好的接地時，正確的調試才能保證接下來的各項使用工作順利進行，下面隨八佳小編一起看看具體的真空爐的熱調試方法要怎么做吧。 　　1、在爐子真空度不低于13.3Pa的情況下通電烘爐，在真空燒結爐爐溫緩慢升至1300℃的整個過程中，爐子真空度不應低于13.3Pa，經過充分烘烤 ，除氣后，壓升率達到技術要求時即可。 　　2、極限真空度測量：不低于6×1.0-4Pa。 　　3、工作真空度測量：不低于2.7Pa(在1000空爐時)。 　　4、壓升率測量：在真空燒結爐加熱至1200℃時，經過充分烘烤除氣后，爐溫冷卻至100℃以下時再測壓升率，應達到0.5Pa/h。 　　當冷卻室真空度為1.33Pa時，關閉真空燒結爐真空隔熱門、冷卻室真空閥，并立即向冷卻室爐充入氮氣0.06MPa時，時間應在 2.5(秒)完成，并且加熱室的真空度不得低于670Pa。