氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)、氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導體專用設(shè)備系列中新穎的技術(shù)裝備，設(shè)計思路新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，一臺設(shè)備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領(lǐng)域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應(yīng)加熱原理，使位于盤管內(nèi)的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結(jié)。安裝爐子的場地應(yīng)符合真空衛(wèi)生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內(nèi)所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安裝固定在相應(yīng)的基礎(chǔ)上。　　3、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤。　　4、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現(xiàn)象。　　5、絕緣電阻不應(yīng)小于2萬億歐姆。　　6、氣相沉積爐各閥門必須在關(guān)閉位置。　　7、控制電源開關(guān)置于斷開位置。　　8、手動調(diào)壓旋鈕逆時針轉(zhuǎn)動頭。　　9、將報警按鈕置于打開位置。　　10、平面圖完成設(shè)備循環(huán)冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環(huán)水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空熔煉爐各組成部分介紹 　　真空熔煉爐應(yīng)用于硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進行熱壓燒結(jié)處理，也可在充氣保護情況下熱壓成形燒結(jié)。主要由５個系統(tǒng)組成，包括： 　　真空系統(tǒng)：真空熔煉爐由油擴散泵、羅茨泵、機械泵配電磁壓差閥、充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表(±Pa)波紋管、真空管路和支架等組成。 　　液壓系統(tǒng)：真空熔煉爐采用電動輸入方式。由液壓站配有進口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺(測距精度0.02mm)、液壓缸等相關(guān)液壓裝置，壓力調(diào)節(jié)半自動化、可通過手動調(diào)節(jié)。儀表可設(shè)定自動調(diào)節(jié)壓力，并能實現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。 　　水冷系統(tǒng)：由各種閥管道相關(guān)裝置組成且設(shè)有斷水聲光報警自動切斷加熱源或功能。 　　溫控系統(tǒng)：采用可控硅控溫，真空熔煉爐配置有PID功能儀表，數(shù)顯表，具有超溫聲光報警功能，也可選用PLC觸摸屏自動控制，并保留歷史數(shù)據(jù)，便于分析燒結(jié)過程。 　　充氣系統(tǒng)：真空燒結(jié)爐由各種管道及閥門組成，并配有電磁放氣閥、壓力傳感器，當爐內(nèi)壓力高于安全值時會自動放氣，充氣管路上裝有針閥，可控制充氣量。