氣相沉積爐設備特點是什么　　氣相沉積爐適用于化學氣相沉積法制備碳-碳復合材料，也可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理，或以三氯甲硅烷（MTS）為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。　　裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設備特點如下：　　1.多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；　　2.采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍小；　　3.氣相沉積爐設備自動化高，關鍵執行電氣件采用進口；操作直觀、簡便，觸摸屏經過開發，可動態顯示爐子運行狀況并具有自我診斷功能，程序段可直接輸入。　　4.采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強。

　　真空燒結爐抽真空的一般流程如下：　　1.首先，將待燒結的樣品放入燒結爐內，并關閉燒結爐的門。　　2.打開燒結爐內的真空泵和閥門，將燒結爐內的氣體抽出，直至達到所需真空度。　　3.在抽真空的過程中，可以通過真空計監測真空度的變化，以便及時調整抽氣速度。　　4.當真空度達到所需值后，關閉真空泵和閥門，等待一段時間，使燒結爐內的氣體充分擴散，以避免在加熱過程中產生氣泡。　　5.在燒結過程中，需要定期檢查真空度，如發現真空度下降，應及時排除故障。　　6.燒結完成后，打開燒結爐的門，取出燒結好的樣品。　　7.關閉燒結爐的門，打開真空泵和閥門，將燒結爐內的氣體抽出，直至達到所需真空度。　　8.關閉真空泵和閥門，清理燒結爐的內部和外部，存放好設備。　　真空燒結爐在抽真空的過程中，應注意控制抽氣速度，防止因抽氣過快引起樣品損壞或設備故障。同時，應注意保持燒結爐內部的干燥和潔凈，避免水分和其他雜質進入燒結爐內。