真空燒結爐結構上要滿足哪些要求呢 　　真空燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的專用設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟(潤滑劑或成形劑)、還原、合金化、組織轉變等順利進行，燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行精確的控制。 　　因此，真空燒結爐在結構上應滿足以下要求： 　　(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。 　　(2)具有氣密性，即能隔絕爐外空氣并保證爐內保護氣氛暢通。 　　(3)爐內的各段溫度可控，燒結氣氛可調。 　　(4)具有快速冷卻裝置，可將燒結零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。 　　真空燒結爐使用的注意事項 　　(1)當使用氫氣或分解氨時，要先通入氮氣，在確保爐中的空氣完全被排出時，才能通電升溫，以防止打鳴和爆炸。 　　(2)對鉬絲作加熱元件的燒結爐，在通電前爐體中應通入保護氣體，以防止鉬絲氧化而脆斷。 　　(3)真空燒結爐爐門及氣體排出口應點明火燒除，以防止氧氣進入或氫氣排出而發生爆炸危險和煤氣中毒危險。 　　(4)若電熱元件為鐵鉻鋁電阻絲，在升溫至1100℃時應停留一段時間(30min左右)再升溫，以防止電阻絲表面溫度過高而損壞。 　　(5)在升溫前和操作中應不時檢查氣流、水流是否符合要求，以及檢查設備、電和爐溫的控制儀表是否正常。 　　(6)停爐前應先斷電，在爐溫降到200℃以下時再停氣和停水。 　　(7)除了因維修要停真空燒結爐爐外，要避免頻繁停爐。燒結爐的頻繁開停，會造成加熱元件易于老化，耐火材料易于碎裂，爐內氣氛不純，爐溫容易波動等弊端。

　　石墨化爐的冷卻方法 　　石墨化爐在運行中，爐溫達2300℃以上，導電電極與爐芯連結的一端就是在這樣的高溫下進行工作。導電電極的另一端與銅母線相連接，這就要保證與銅板的連接處的溫度要低于銅板的融化溫度，同時，因導電電極裸露在空氣中，必須在低于氧化溫度下工作。為此，一定要進行強制冷卻。目前基本有兩種冷卻方式。 　　1、直接淋水冷卻： 　　以鉆孔水管橫架于導電電極上，澆水于導電電極及其與銅母線的連接處，使之冷卻。這種直接冷卻方式簡單、方便，冷卻效果好。缺點是，冷卻水四濺，易對爐體滲水。而且這種方式需要安裝一泄水槽，水槽易阻塞，不及時處理，槽內水就容易滲入爐內，噴淋水也容易滲入爐內，使爐子的壽命周期縮短，同時易使爐內產品氧化。另外，在北方，冬季水槽四周容易結冰較多，不易處理。 　　2、直接內冷： 　　在導電電極鏜孔后直接用絲堵堵上，再接上一長一短兩根水管，讓水直接流到電極的圓孔后再排出，從上述意義講，人造石墨只能稱作一種“多晶石墨”。不過這種“多晶石墨”已具備了理想石墨的基本特性。 　　3、金剛石的晶體結構 　　在金剛石的晶體結構中每個碳原子與相鄰的四個碳原子以共價鍵結合，呈正四面體配位，屬于等軸晶系，金剛石是典型的原子晶體，金剛石的這種結構特征，決定了金剛石不導電，導熱性也很差。在隔絕空氣的條件下加熱到1000℃時，金剛石轉變為石墨結構，在空氣中加熱到780℃左右會燃燒而生成二氧化碳。使用純度較高的人造石墨在高溫、高壓下可以獲得人造金剛石，但是這種人造金剛石的顆粒比較小。 　　這種方式的優點是易將水系統做成全封閉或半封閉系統，不會向爐內滲入。因為可以不用泄水槽，從而，用此方法的廠家，多把水系統做成半封閉系統。缺點是：冷卻效果不如直接淋水冷卻，對水質要求較高，嚴禁缺水。否則爐頭溫度升高，再忽然通入冷水，易產生水爆，十分危險。 　　石墨化爐側墻分固定墻和活動墻 　　固定式側墻一般采用耐火磚砌筑，每隔一定間隔都要留一排氣孔，以使送電過程中爐芯內的煙氣能順利排出。使用耐火磚做側墻，保溫效果好，使用壽命也稍長，但造價較高。 　　活動式側墻是由水泥、粘土、耐火磚碎塊等按一定比例配制而成，墻上留有排氣孔。使用時將活動側墻吊放在爐兩側、由槽鋼做成的柱子間。活動式側墻的優點是經濟、省工，且冷卻爐子時方便。缺點是不耐機械沖擊和熱沖擊，以及破損不能修補等。 　　此外，現在還出現了下半部為固定式，上半部為活動式的混合型側墻，兼顧了兩者的優點，使用效果比較理想。槽鋼（或鑄鐵支架）主要起固定側墻的作用。通電爐芯由被加熱的產品和中間填充電阻料組成。通電后爐體有一定的熱脹力。